中國臺灣日揚APC蝶閥使用淺析

中國臺灣日揚（Htc）自動壓力控制APC蝶閥，是整合真空腔體壓強反饋與馬達控制技術的真空閥門，可以快速調節真空腔體制程壓力，*隔絕真空側和大氣側，APC蝶閥具有外形尺寸小、使用壽命長、易維修等特點，搭配Htc的APC軟件，可以簡單快速地設定并監控制程壓力。

APC蝶閥，廣泛應用于半導體、光電產業、太陽能產業、CVD制程等行業，安裝在真空泵組與真空制程腔室之間，通過真空計反饋的電壓值控制蝶閥密封板開度大小，從而達到調節腔室壓力的目的。

本次實際使用的蝶閥型號是ISO63BFVC/RS485，通過自帶的軟件，可以進行如下功能的設定：閥門位置、真空壓力、目標壓力、JOG+、OPEN全開、CLOSE全閉、JOG-、HOLD（馬達鎖定，所有命令無效）等。

真空計的設定，重新設定壓力范圍（例如講0.1Torr改為1Torr）后，要關掉軟件，再重新打開軟件，更改設定才會有效。對應真空計0-10V的設定壓力值，具有線性特性。

馬達的PID調節，將I=0.1，D=0，調整P參數有1增加到馬達有震動之后將該值除以2，則為P之設定值。

使用RS485接口時，兩次訊息之間必須間隔7個字節以上的時間。

整個過程，調試方便順利，控制精度高、反應迅速，整個工況讓客戶非常滿意！

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作者：深圳市科銳詩汀科技有限公司銷售部

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