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英福康那些超好用的智能檢漏工具

更新時間:2024-12-17      點擊次數:977

英福康那些超好用的智能檢漏工具


英福康那些超好用的智能檢漏工具


高效、精確、簡便的泄漏檢測,不僅歸功于高性能的檢測儀器,還離不開儀器所配置的各種智能工具。今天,官微君就將用一篇文章,為您講清楚英福康那些應用于氦氣檢漏操作,懂儀器、更懂你的實用工具們


SMART-Spray氦氣噴槍

—— 智慧型全能幫手

SMART-Spray是英福康專為UL系列檢漏儀設計的便攜式、無線、無管氦氣噴槍,有了它,氦氣泄漏檢測時使用軟管搬運超大氦氣瓶和反復手動調節噴霧量的操作都將成為過去。

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單次充裝氦氣,可噴氦超過1000次的SMART-Spray,不僅簡化了檢測流程,提高了檢測效率,還能夠通過精確定位檢查點所需的氣體流量大大節省氦氣用量和檢測成本


此外,其內配備的彩色照明顯示屏,尤其適用于極限泄漏率小于 1 x 10-9 mbar x l/s的環境,或是有著許多測試點和潛在泄漏的復雜半導體的泄漏測試,讓檢漏操作更加靈活與簡便。



I·BOOST信號處理濾波器

—— 提速技能滿分

依靠軟件更新后的I·BOOST信號處理濾波器,英福康可通過加速泄漏率信號、縮短噴涂間隔時間,來幫助用戶顯著提升測試效率,尤其適用于UL3000 Fab 和 UL6000 Fab 系列


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更值得一提的是,I·BOOST的優勢在復雜的半導體系統檢漏應用中尤為突出。“極限泄漏率越低,測試周期通常就越長,而這正是 I·BOOST 的高靈敏度和省時。"英福康總部產品經理馬庫斯-施萬貝拉介紹說。


SPRAY-Check參考漏孔

—— 不放過一處泄漏

SPRAY-Check是一種易于安裝的參考漏孔,其以石英窗為基礎,只對氦氣和氫氣等輕氣體有滲透性。使用其輔助泄漏檢測,不僅提高了安全性,還擴展了檢測的功能,例如可在相關泄漏率范圍內檢查測量設置和測試方案,或是將其直接連接到生產系統中進行死區時間檢查等。


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“在使用氦氣進行泄漏檢測時,從噴射氣體到檢漏儀顯示屏出現指示一般會有一段時間的間隔,用戶可通過估算該時間,來明確劃分出潛在的泄漏點。例如,若死鎖時間過后顯示屏沒有任何指示,則說明沒有泄漏。"馬庫斯-施萬貝拉進一步解釋說,“由于SPRAY-Check不受對工藝有害的氣體(如水或氧氣)的影響,因此它也可以安裝在半導體系統中,或應用于極限泄漏率低于 10-9 mbar x l/s 的系統中。"


適配英福康UL系列檢漏儀,

助力提升半導體生產效率與品質


SMART-Spray、I·BOOST 和 SPRAY-Check,適用于英福康UL系列的所有移動式氦氣檢漏儀(I·BOOST 僅限于最新一代UL3000 Fab/UL6000 Fab 系列使用)。


UL系列檢漏儀,一直是英福康的產品系列之一。UL6000 Fab ,憑借著zhuoyue的性能,被廣泛應用于現代半導體工廠和具有超大腔室容積的涂層系統中,滿足較大測試量的檢漏需求。在所有測量范圍內,它都能提供最快的響應時間和最短的測試時間。同時,其緊湊的設計,使其即使在狹小的空間內也能輕松操作。

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UL3000 Fab 系列,也是專為半導體工廠的泄漏檢測而開發。其具有靈活、機動、調試快速和靈敏度高等特點,匹配半導體行業用戶對檢測高效性和精準性的要求。此外,UL3000 Fab 的占地面積也很小,可以在狹窄的空間內輕松移動。


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UL1000 Fab 系列,則在集成以上產品優勢的同時,又兼具了經濟性,廣泛用于工業或半導體環境中的氦氣真空泄漏測試,尤其適用于較小的真空室

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