電容膜片真空計

Stripe CDG100Dhs 0.1 … 1000 乇/ 毫巴

CDG100Dhs - 100°C - 智能內部，快速外部

INFICON Stripe 高速電容式隔膜真空計目前是快速、高度準確的真空測量儀器。響應時間不到 2 ms，配備 EtherCAT 現(xiàn)場總線接口，開拓了全新的應用領域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有wuyulunbi的零位穩(wěn)定性。Stripe 隨附 INFICON 已獲zhuanli的dute傳感器屏蔽，用于保護真空計，使其免受不需要的過程副產(chǎn)品的影響。INFICON Stripe 使用創(chuàng)新的加熱概念，提供冰涼的接觸表面和dute的速度性能， 可實現(xiàn)提升shiwuqianli的生產(chǎn)力， 使其成為同類產(chǎn)品中zuixianjin的真空儀器。

好處

• 高生產(chǎn)力 - 響應時間快于 2 ms

• 靈活集成 - EtherCAT 現(xiàn)場總線

• 使用壽命長 - 經(jīng)驗證的陶瓷傳感器

• 忘記重新校準 - 90ppm/年quanfnagwei穩(wěn)定性

典型應用

• 原子層沉積

• 高速過程控制

• PVD、CVD、蝕刻

• 一般高溫真空應用