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產(chǎn)品中心
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C系列質(zhì)量流量控制器（MFC）是緊湊且快速響應(yīng)型，用于非腐蝕性氣體，流量從50SCCM至50SLM，范圍從滿量程0.1%至。控制方式有0至5VDC模擬和RS485，所需電源電壓為24VDC。
GE50A是通用型彈性密封流量控制器，適合流量范圍在5SCCM至50SLM的各種氣體流量控制。該GE50A控制器采用了的數(shù)字流量控制的電子原件及技術(shù)的熱傳感器和機(jī)械設(shè)計。
1179A MKS1179A MKS1179A質(zhì)量流量計是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
180A ALTATM MKS數(shù)字型金屬密封流量計
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